安捷倫86142B光譜儀的出現(xiàn)源于20世紀(jì)90年代微電子領(lǐng)域中制造技術(shù)迅猛發(fā)展,通常采用光纖作為信號(hào)耦合器件,將被測光耦合到光譜儀中進(jìn)行光譜分析。由于光纖的方便性,用戶可以非常靈活的搭建光譜采集系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)測量系統(tǒng)的模塊化和靈活性。選擇安捷倫86142B光譜儀的時(shí)候需要考慮的三大要素:
1.波長范圍
波長范圍是選擇光譜儀的首要指標(biāo)。它主要由光柵、探測器決定。波長范圍取決于光柵的起始波長和光柵線對(duì)數(shù)。波長越長則色散效應(yīng)越大,光柵覆蓋的波長范圍就越小。光柵線數(shù)越多,色散效果越好,光柵覆蓋的波長范圍越小。
2.光學(xué)分辨率
光譜儀的光學(xué)分辨率是光譜儀所能分辨開的小波長差。它主要取決于光柵線數(shù)和入射狹縫寬度。光柵決定了不同波長在探測器上的色散程度。光柵線數(shù)越多,色散程度越開,光學(xué)分辨率就越高。入射狹縫寬度決定狹縫在探測器陣列上所成像覆蓋的像元數(shù)。狹縫越寬,光學(xué)分辨率越小。
3.靈敏度
靈敏度主要入射狹縫、探測器有關(guān)。對(duì)于高靈敏度需要的應(yīng)用可以選擇100μm或者200μm的狹縫來增加入射光信號(hào);可以選信噪比較高的2048像素高靈敏度CMOS探測器,也可以選擇制冷型背照式CCD探測器,通過增加積分來提高信號(hào)強(qiáng)度。